工业烤箱设备为什么比一般烤箱更适合半导体行业

　　工业烤箱设备是降低柜内氧气含量，进行加热烘烤的枯燥设备。 主要是对金属等比较容易氧化的设备进行烘烤，使其枯燥固化时的抗氧化维护。 我们知道半导体制造能够细分为前道和后道两个工艺过程。前一工序是加工硅资料制造晶片，通过步进等多个工序将IC规划图案加载到晶片上，制造集成电路; 后工序是将搭载集成电路的晶片分割为基本单元，通过封装、测验完结的集成电路产品。工业烤箱设备在无氧分解真空环境下，氧分压下降，避免了资料枯燥过程中的氧化变质现象，保证了被枯燥产品的质量，且具有功能完全、烘烤作用好、运用方便、易于操作等特色，比一般烘箱更适合应用于半导体行业。

　　工业烤箱设备为什么比一般烤箱更适合半导体行业?

　　工业烤箱设备具有以下特色:

　　1、上下炉腔可独自控温、通气、报警维护，强制送风内循环，确保温度均匀。

　　2、操控系统用PLC+人机界面配合微电脑操控温控器，带PID主动演算功能以保证箱体温度均匀性为±1℃。

　　3、工业烤箱设备外原料为SPCC钢板通过苏打水清洗后粉体烤漆处理，保温原料为高密度纤维棉，保温作用好。

　　4、工业烤箱设备内原料用SUS304不锈钢板,整个内腔用氩弧焊满焊,避免空气进入烘箱内，同时节省惰性气体。

　　5、能够保存配方，检查温度曲线，导出升温数据等。

　　6、装备主动充氮气装置，与主动开关风门进行充氮烘烤。

　　7、依据运用要求，能够接受定制工业烤箱设备。

　　以上关于工业烤箱设备为什么比一般烤箱更适合半导体行业斯博欣就为大家分享到这里，希望可以解答到大家的疑惑。http://www.s***/list_59/1272.html